1200度1500度1700度CVD生長系統
該CVD系統是不同溫度例如1200度1500度1700度管式爐、不同溫區單溫區雙溫區三溫區的管式爐，管徑有50mm，60mm,80mm,100mm石英管或者剛玉管，帶精密氣體流量控制器的質子流量計或者浮子流量計，以及真空系統組成真空系統由VRD系列的兩級旋轉真空泵和KYKY分子泵構成的CVD系統。具體要求根據客戶需求來配置的，實驗研究表明：CVD系統可用於保護氣氛的環境燒結，也可用於各種薄膜的制備，石墨烯薄膜生長、納米管生長等，2D材料生長。
以下圖片由不同溫度的爐子和流量計真空泵搭配的
1.1200度單溫區管式爐3路質子流量計真空泵CVD系統
2.1500度單溫區3路浮子流量計兩級旋轉真空泵CVD系統
3.1700度單溫區3路質子流量計兩級旋轉真空泵CVD系統
| 管式爐部分 |
| 爐體溫度 |
1200度，1500度，1700度 |
| 爐膛模式 |
開啟式 |
| 顯示模式 |
高亮度LED數碼管 |
| 爐膛材料 |
氧化鋁纖維 |
| 加熱元件 |
高純硅鉬棒 |
| 升溫速率 |
≤20℃ (建議:10℃/min) |
| 加熱溫區 |
單溫區 |
| 溫區長度 |
440mm （單溫區）220mm+220mm(雙溫區)220mm+440mm+220mm（三溫區）（1500C1700C 沒有三溫區） |
| 恆溫區長 |
260mm（單溫區）130mm+130mm(雙溫區)180mm+440mm+180mm（三溫區）（1500C1700C 沒有三溫區） |
| 爐管材質 |
1200度是石英管1500度和1700度是剛玉管 |
| 爐管尺寸 |
1200度石英管OD50*1000，OD60*1000，OD80*1000，OD100*1000mm 三溫區長度石英管長度是1400mm
1500度和1700度剛玉管尺寸單溫區剛玉管尺寸OD50*1000，OD60*1000，OD80*1000
1500度和1700度剛玉管尺寸雙溫區剛玉管尺寸OD50*1200，OD60*1200，OD80*1200
|
| 密封方式 |
真空法蘭 |
| 氣 密 性 |
7.8×10-4Pa |
| 控制模式 |
智能PID |
| 控溫精度 |
±1℃ |
| 溫度曲線 |
30段"時間—溫度曲線"任意可設 |
| 超溫報警 |
有 |
| 過流保護 |
有 |
| 斷偶提示 |
有 |
| 加熱元件 |
1200度電阻絲，1500度硅碳棒，1700度硅鉬棒 |
| 測溫元件 |
1200度K型熱電偶，1500度S型熱電偶，1700度B型熱電偶 |
| 電氣認証 |
CE認証 |
| 供電電源 |
220V 50Hz |
| 額定功率 |
4KW |
| 外形尺寸 |
700*510*720 mm |
| 售后服務 |
12個月質保，終身保修 |
| 真空泵部分 |
| 型號 |
VRD-4 雙級旋轉真空泵系統或者是KYKY FJ-110分子泵系統 |
| 抽速m/h(L/s) |
4(1.1) |
| 極限分壓強-無氣鎮（Pa） |
5×10-2 |
| 極限總壓強-無氣鎮（Pa） |
5×10-1 |
| 極限總壓強-有氣鎮（Pa） |
3 |
| 電源 |
AC220V |
| 電機功率（KW） |
0.4/0.37 |
| 進排氣連接口DN(mm） |
KF16/25 |
| 用油量（L) |
0.6～1 |
| 電機轉速（rpm） |
1440 |
| 流量計部分 |
| 產品名稱 |
質子流量計一路，二路，三路，四路，浮子流量計一路，二路，三路，四路
下列參數是以3路質子流量計為例的參數
|
| 流量計類型 |
質子流量計 |
| 流量計管芯 |
304不鏽鋼 |
| 調節閥類型 |
電磁調節閥 |
| 管道常態 |
常閉 |
| 流量計外殼 |
黑色鋁殼 |
| 氣體種類 |
3種 |
| 接口尺寸 |
1/4" |
| 測量精度 |
±1.0%F.S |
| 線性度 |
±0.5%F.S |
| 重複精度 |
±0.2%F.S |
| 壓力範圍 |
-0.1-0.15 MPa |
| A路氣體測量範圍 |
0～100SCCM |
| B路氣體測量範圍 |
0～200SCCM |
| C路氣體測量範圍 |
0～500SCCM |
| 流量控制範圍 |
2%～100% |
| 零點溫漂 |
0.6F.S(15～35℃) |
| 響應時間 |
2S |
| 工作環境溫度 |
(15～50℃) |
| 精度保証溫度 |
(15～35℃) |
| 供電電源 |
220V 50Hz |
| 外形尺寸 |
L700×W600×H580 |
| 設備重量 |
43kg |
