1200度1500度1700度CVD生長系統
該CVD系統是不同溫度例如1200度1500度1700度管式爐、不同溫區單溫區雙溫區三溫區的管式爐，管徑有50mm，60mm,80mm,100mm石英管或者剛玉管，帶精密氣體流量控制器的質子流量計或者浮子流量計，以及真空系統組成真空系統由VRD系列的兩級旋轉真空泵和KYKY分子泵構成的CVD系統。具體要求根據客戶需求來配置的，實驗研究表明：CVD系統可用於保護氣氛的環境燒結，也可用於各種薄膜的制備，石墨烯薄膜生長、納米管生長等，2D材料生長。
以下圖片由不同溫度的爐子和流量計真空泵搭配的
1.1200度單溫區管式爐3路質子流量計真空泵CVD系統
2.1500度單溫區3路浮子流量計兩級旋轉真空泵CVD系統
3.1700度單溫區3路質子流量計兩級旋轉真空泵CVD系統
| 管式爐部分 | |
| 爐體溫度 | 1200度，1500度，1700度 |
| 爐膛模式 | 開啟式 |
| 顯示模式 | 高亮度LED數碼管 |
| 爐膛材料 | 氧化鋁纖維 |
| 加熱元件 | 高純硅鉬棒 |
| 升溫速率 | ≤20℃ (建議:10℃/min) |
| 加熱溫區 | 單溫區 |
| 溫區長度 | 440mm （單溫區）220mm+220mm(雙溫區)220mm+440mm+220mm（三溫區）（1500C1700C 沒有三溫區） |
| 恆溫區長 | 260mm（單溫區）130mm+130mm(雙溫區)180mm+440mm+180mm（三溫區）（1500C1700C 沒有三溫區） |
| 爐管材質 | 1200度是石英管1500度和1700度是剛玉管 |
| 爐管尺寸 |
1200度石英管OD50*1000，OD60*1000，OD80*1000，OD100*1000mm 三溫區長度石英管長度是1400mm 1500度和1700度剛玉管尺寸單溫區剛玉管尺寸OD50*1000，OD60*1000，OD80*1000 1500度和1700度剛玉管尺寸雙溫區剛玉管尺寸OD50*1200，OD60*1200，OD80*1200 |
| 密封方式 | 真空法蘭 |
| 氣 密 性 | 7.8×10-4Pa |
| 控制模式 | 智能PID |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 溫度曲線 | 30段"時間—溫度曲線"任意可設 |
| 超溫報警 | 有 |
| 過流保護 | 有 |
| 斷偶提示 | 有 |
| 加熱元件 | 1200度電阻絲，1500度硅碳棒，1700度硅鉬棒 |
| 測溫元件 | 1200度K型熱電偶，1500度S型熱電偶，1700度B型熱電偶 |
| 電氣認証 | CE認証 |
| 供電電源 | 220V 50Hz |
| 額定功率 | 4KW |
| 外形尺寸 | 700*510*720 mm |
| 售后服務 | 12個月質保，終身保修 |
| 真空泵部分 | |
| 型號 | VRD-4 雙級旋轉真空泵系統或者是KYKY FJ-110分子泵系統 |
| 抽速m/h(L/s) | 4(1.1) |
| 極限分壓強-無氣鎮（Pa） | 5×10-2 |
| 極限總壓強-無氣鎮（Pa） | 5×10-1 |
| 極限總壓強-有氣鎮（Pa） | 3 |
| 電源 | AC220V |
| 電機功率（KW） | 0.4/0.37 |
| 進排氣連接口DN(mm） | KF16/25 |
| 用油量（L) | 0.6～1 |
| 電機轉速（rpm） | 1440 |
| 流量計部分 | |
| 產品名稱 |
質子流量計一路，二路，三路，四路，浮子流量計一路，二路，三路，四路 下列參數是以3路質子流量計為例的參數 |
| 流量計類型 | 質子流量計 |
| 流量計管芯 | 304不鏽鋼 |
| 調節閥類型 | 電磁調節閥 |
| 管道常態 | 常閉 |
| 流量計外殼 | 黑色鋁殼 |
| 氣體種類 | 3種 |
| 接口尺寸 | 1/4" |
| 測量精度 | ±1.0%F.S |
| 線性度 | ±0.5%F.S |
| 重複精度 | ±0.2%F.S |
| 壓力範圍 | -0.1-0.15 MPa |
| A路氣體測量範圍 | 0～100SCCM |
| B路氣體測量範圍 | 0～200SCCM |
| C路氣體測量範圍 | 0～500SCCM |
| 流量控制範圍 | 2%～100% |
| 零點溫漂 | 0.6F.S(15～35℃) |
| 響應時間 | 2S |
| 工作環境溫度 | (15～50℃) |
| 精度保証溫度 | (15～35℃) |
| 供電電源 | 220V 50Hz |
| 外形尺寸 | L700×W600×H580 |
| 設備重量 | 43kg |
付款方式︰ TT
