1200度1500度1700度CVD生长系统
该CVD系统是不同温度例如1200度1500度1700度管式炉、不同温区单温区双温区三温区的管式炉，管径有50mm，60mm,80mm,100mm石英管或者刚玉管，带精密气体流量控制器的质子流量计或者浮子流量计，以及真空系统组成真空系统由VRD系列的两级旋转真空泵和KYKY分子泵构成的CVD系统。具体要求根据客户需求来配置的，实验研究表明：CVD系统可用于保护气氛的环境烧结，也可用于各种薄膜的制备，石墨烯薄膜生长、纳米管生长等，2D材料生长。
以下图片由不同温度的炉子和流量计真空泵搭配的
1.1200度单温区管式炉3路质子流量计真空泵CVD系统
2.1500度单温区3路浮子流量计两级旋转真空泵CVD系统
3.1700度单温区3路质子流量计两级旋转真空泵CVD系统
| 管式炉部分 |
| 炉体温度 |
1200度，1500度，1700度 |
| 炉膛模式 |
开启式 |
| 显示模式 |
高亮度LED数码管 |
| 炉膛材料 |
氧化铝纤维 |
| 加热元件 |
高纯硅钼棒 |
| 升温速率 |
≤20℃ (建议:10℃/min) |
| 加热温区 |
单温区 |
| 温区长度 |
440mm （单温区）220mm+220mm(双温区)220mm+440mm+220mm（三温区）（1500C1700C 没有三温区） |
| 恒温区长 |
260mm（单温区）130mm+130mm(双温区)180mm+440mm+180mm（三温区）（1500C1700C 没有三温区） |
| 炉管材质 |
1200度是石英管1500度和1700度是刚玉管 |
| 炉管尺寸 |
1200度石英管OD50*1000，OD60*1000，OD80*1000，OD100*1000mm 三温区长度石英管长度是1400mm
1500度和1700度刚玉管尺寸单温区刚玉管尺寸OD50*1000，OD60*1000，OD80*1000
1500度和1700度刚玉管尺寸双温区刚玉管尺寸OD50*1200，OD60*1200，OD80*1200
|
| 密封方式 |
真空法兰 |
| 气 密 性 |
7.8×10-4Pa |
| 控制模式 |
智能PID |
| 控温精度 |
±1℃ |
| 温度曲线 |
30段"时间—温度曲线"任意可设 |
| 超温报警 |
有 |
| 过流保护 |
有 |
| 断偶提示 |
有 |
| 加热元件 |
1200度电阻丝，1500度硅碳棒，1700度硅钼棒 |
| 测温元件 |
1200度K型热电偶，1500度S型热电偶，1700度B型热电偶 |
| 电气认证 |
CE认证 |
| 供电电源 |
220V 50Hz |
| 额定功率 |
4KW |
| 外形尺寸 |
700*510*720 mm |
| 售后服务 |
12个月质保，终身保修 |
| 真空泵部分 |
| 型号 |
VRD-4 双级旋转真空泵系统或者是KYKY FJ-110分子泵系统 |
| 抽速m/h(L/s) |
4(1.1) |
| 极限分压强-无气镇（Pa） |
5×10-2 |
| 极限总压强-无气镇（Pa） |
5×10-1 |
| 极限总压强-有气镇（Pa） |
3 |
| 电源 |
AC220V |
| 电机功率（KW） |
0.4/0.37 |
| 进排气连接口DN(mm） |
KF16/25 |
| 用油量（L) |
0.6～1 |
| 电机转速（rpm） |
1440 |
| 流量计部分 |
| 产品名称 |
质子流量计一路，二路，三路，四路，浮子流量计一路，二路，三路，四路
下列参数是以3路质子流量计为例的参数
|
| 流量计类型 |
质子流量计 |
| 流量计管芯 |
304不锈钢 |
| 调节阀类型 |
电磁调节阀 |
| 管道常态 |
常闭 |
| 流量计外壳 |
黑色铝壳 |
| 气体种类 |
3种 |
| 接口尺寸 |
1/4" |
| 测量精度 |
±1.0%F.S |
| 线性度 |
±0.5%F.S |
| 重复精度 |
±0.2%F.S |
| 压力范围 |
-0.1-0.15 MPa |
| A路气体测量范围 |
0～100SCCM |
| B路气体测量范围 |
0～200SCCM |
| C路气体测量范围 |
0～500SCCM |
| 流量控制范围 |
2%～100% |
| 零点温漂 |
0.6F.S(15～35℃) |
| 响应时间 |
2S |
| 工作环境温度 |
(15～50℃) |
| 精度保证温度 |
(15～35℃) |
| 供电电源 |
220V 50Hz |
| 外形尺寸 |
L700×W600×H580 |
| 设备重量 |
43kg |
